SF6氣體檢漏儀采用小型真空泵，探頭與主機為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩定性好、響應速度快、探頭不會中毒、不產生有毒氣體等特點。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器讀數更為方便準確。當發現泄漏點時，儀器發出報警聲，報警指示燈閃爍，指針發生偏轉，從儀表上可以得出SF6泄漏的測量值，然后查標準曲線得出SF6泄漏濃度，通過計算得出年泄漏率。