SF6氣體檢漏儀采用全屏蔽,消除了外界和本身的干擾。儀器可在SF6開關裝置的泄漏率范圍內檢測SF6的漏氣量，可多檔切換選擇，并給出每檔的標準曲線，能定量和定性檢漏。SF6氣體檢漏儀可檢測SF6氣體、HFC（R134、R123）/CFC/HCFC致冷劑，鹵素氣體，乙稀、四氟乙稀、三氯乙稀和含有鹵素的大部分其它化合物。